干式螺杆真空泵成为热2号站门应用的原因
2023-07-06 11:07
2021螺杆真空泵火了,据了解半导体行业应用较为广泛,二号站登录入口而干式螺杆真空泵的出现替代了大部分油螺杆真空泵,在制药、医疗器械、半导体行业均有应用。来看看,干式真空泵应用于半导体行业的优势。干式真空泵、干式螺杆真
2021螺杆真空泵火了,据了解半导体行业应用较为广泛,而干式螺杆真空泵的出现替代了大部分油螺杆真空泵,在制药、医疗器械、半导体行业均有应用。
来看看,干式真空泵应用于半导体行业的优势。
干式真空泵、干式螺杆真空泵应用于半导体优势如下:
1.消除了工艺过程中油污染或油搭载进入尾气处理系统的风险
2.不会产生废物、或者污染宝贵的溶剂、产品或环境
3.完全干燥,对上下游工艺没有任何污染
4.干式螺杆真空泵无任何腐蚀风险
6.干式真空泵工作效率更高、耗电更少
综合上述,干式螺杆真空泵特点明显,半导体生产过程中所需具备抽除腐蚀性气体、粉尘颗粒、有毒气体等,干式螺杆真空泵均可解决,因此被广泛应用于半导体行业。